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    雙溫區滑軌管式爐
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    雙溫區滑軌管式爐

    管式爐主要通過程序自動精確控溫來實現CVD、PVD和退火處理等實驗手段,并且可以通過滑軌實現快速降溫。爐子的底部安裝有一對滑軌,可使爐子從爐管的一側滑動到另一側,以實現快速加熱和快速冷卻。想實現快速地加熱,可將加熱爐預熱至所需溫度,把爐體滑動至樣品位置。 想實現快速的冷卻,可在樣品處加熱完成后將爐體滑到另一側。

    雙溫區滑軌爐規格參數:

    配置:
    雙溫區滑軌管式爐一套(帶三路流量控制系統一套氮氣500sccm,氬氣500sccm,氫氣50sccm),KF25抽氣口真空泵一套,法蘭改裝(兩端全部改裝,每端三個出氣口其中包括KF25抽氣接口,1/4,接口出氣口,以及真空壓力表出氣口和寶塔抽氣接口)

    1、殼體結構:雙層殼體結構,并帶有風冷系統,使得殼體表面的溫度小于60度;爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,減少熱量的損失;內爐膛表面涂有美國1750度高溫氧化鋁涂層可以提高反射率及設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

    2、功率:2.5KW?

    3、電壓:AC?220V??50Hz/60Hz

    4、工作溫度:額定1200℃(<1h),連續工作1100℃

    5、升降溫速率:20℃/min

    6、控溫精度:±1℃

    7、真空度:10-2torr(機械泵),10-5torr(分子泵)

    8、漏氣率:<5mtorr/min

    9、升溫速率:? ≤10℃/min?

    10、爐管尺寸和法蘭:純度99.8%?的高純石英管;包括不銹鋼真空密封法蘭,針閥,和壓力表

    11、擴展接口:標配KF25?adapter轉接頭;標配VCR雙卡套接頭,爐子兩端裝有法蘭支架支架長度根據爐管尺寸定做!(非標定制)

    12、溫控系統:PID智能化溫度控制器,可以設置30段升降溫程序;每個溫區可以獨立的設置,帶有過熱和斷偶保護

    13、控制方法:PID自動控制

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